渦輪分子真空泵是一種對各種氣體的抽速差別不大的真空泵。它由一系列高速旋轉(zhuǎn)動片和固定的靜片組成，動片和靜片構(gòu)成相間排列。氣體分子與高速旋轉(zhuǎn)動片相碰撞，就可獲得沿運動表面方向的速度分量，通過系列動片和靜片的組合，使氣體分子沿一定方向運動，從而產(chǎn)生抽氣效果和壓縮氣體作用。渦輪分子泵的壓縮比與氣體分子量的平方根成正比關(guān)系，由于碳?xì)浠衔锏姆肿恿枯^大，因此對碳?xì)浠衔锞哂袃艋饔谩?/div>
渦輪分子泵通常選擇幾何尺寸不同的動片和靜片組成三個抽氣段，即高、中、低抽氣段。高段對葉列片的參數(shù)選擇主要是為了提高抽氣速率，低段對葉列片的參數(shù)選擇則主要考慮提高壓縮比，而中段是過渡階段，要統(tǒng)籌兼顧考慮過渡過程以達(dá)到合理匹配。
渦輪分子泵通常選用中頻電機(jī)，因此要采用中頻電源來驅(qū)動。由于旋轉(zhuǎn)動片需要高速運轉(zhuǎn)，旋轉(zhuǎn)動片的軸承就需潤滑劑來潤滑以達(dá)到延長使用壽命。渦輪分子泵需采用循環(huán)水冷卻。
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