無油機械真空泵之羅茨泵及爪式泵

　　目前真空技術的應用已擴展到整個工業(yè)，某些行業(yè)，如食品、衛(wèi)生、半導體、電子工業(yè)等，不能使用有油的旋片機械泵。因此，干式真空泵的出現滿足了無油工藝的要求。

　　干式真空泵有非接觸型的羅茨式、爪式、螺桿式，接觸型的葉片式、凸輪式、活塞式等。非接觸型可以高速旋轉，但最大壓縮比小。接觸型的轉速不能太高，但最大壓縮比大。尤其存大氣壓附近，因逆流量變大使后者的壓縮比為前者的5～8倍。另外，干式真空泵的轉速越高，其壓縮比越大。從使用壽命、所能達到的壓縮比、轉速及動平衡性等方面考慮，常采用多級爪式轉子串聯(lián)或羅茨轉子與多級爪式轉子串聯(lián)組合成千式真空泵。

　　1．羅茨泵

　　羅茨真空泵是一種無內壓縮的旋轉變容式真空泵。在羅茨泵泵腔內有兩個形狀對稱的轉子，轉子形狀有兩葉、三葉和四葉。兩個轉子彼此朝相反方向旋轉，由軸端齒輪驅動同步轉動。氣體進入泵體后，隨著轉子的旋轉，被抽氣體與前面出氣口連通，被前級泵排出。與旋片機械泵不同，羅茨泵沒有壓縮氣體，因此，羅茨泵不能單獨對大氣排氣，必須配以前級機械泵同時工作，由前級機械泵將羅茨泵排除的氣體抽走。

　　2．爪式泵

　　爪式泵采用了形狀復雜的爪形轉子。吸氣口和排氣口分別固定在轉子兩側端蓋的側面上，與上一級和下一級轉子相連。兩個爪形轉子與泵體之間形成泵腔的抽氣容積，當兩轉子按圖示方向旋轉時，吸氣口與泵腔接通，泵腔容積由小變大而吸氣：當轉子關閉吸氣口時吸氣結束，隨后泵腔容積由大變小而壓縮氣體；當泵腔容積與排氣口接通時，泵腔排氣，直到泵腔與排氣口隔斷時為止，排氣結束。轉子繼續(xù)旋轉，重復上述吸氣、壓縮、排氣過程。

　　爪式泵常采用兩種結構：三級爪式轉子加一級羅茨式轉子構成多級泵；四級爪式轉子串聯(lián)構成多級泵。這種泵的吸氣口、排氣口設置在泵腔的端壁上。多級連接很方便，氣道流暢，泵內腔壓強變化平緩，有利于防止可凝性氣體的凝結。

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