擴(kuò)散泵基本上是一種沒有麻煩的裝置，因?yàn)樗鼪]有運(yùn)動(dòng)部件，只需要適當(dāng)?shù)难h(huán)冷卻水，給加熱器以合適的功率以及正確用量的清潔的泵工作液。內(nèi)部噴嘴的較大損壞或部件的不正確裝配都會影響擴(kuò)散泵的抽速和返流。當(dāng)遇到問題時(shí)需要日常檢查的是確證加熱器產(chǎn)生的額定功率。冷卻水的出口溫度一般應(yīng)在40～50℃，并應(yīng)將水流調(diào)節(jié)到使出口水溫保持在此溫度范圍內(nèi)。如果使用一種耐用的泵工作液，檢查液位便足夠了。然而，如果使用價(jià)格低的擴(kuò)散泵工作液，它可能會發(fā)生分解，這要求對泵進(jìn)行清洗和更換新鮮的泵工作液。泵工作液的壽命取決于加熱時(shí)暴露在較高壓強(qiáng)的情況。泵工作液的過分耗損估計(jì)是由于閥門的誤操作，即在超出泵制造廠規(guī)定的允許壓強(qiáng)下打開前級閥或高真空閥。

　　抽氣慢通常與氣體負(fù)荷大有關(guān)。這可由高的前級壓強(qiáng)證明擴(kuò)散泵工作是否正確。在入口壓強(qiáng)為100～lmTorr下抽氣時(shí)，擴(kuò)散泵將抽除相當(dāng)大量的氣體。在這種情況下，前級壓強(qiáng)上升至到200或250mTorr是正常的，而當(dāng)真空室的壓強(qiáng)降到5×10-4Torr以下時(shí)，此壓強(qiáng)便迅速下降。前級壓強(qiáng)可作擴(kuò)散泵運(yùn)行“正常”判斷的依據(jù)。如果前級壓強(qiáng)低于正常值，則應(yīng)懷疑擴(kuò)散泵的狀況；如果前級壓強(qiáng)高于正常值，則應(yīng)懷疑真空室存在著大的氣體負(fù)荷或者真空系統(tǒng)的某部分有泄漏問題。

　　真空系統(tǒng)的氣體負(fù)荷大的原因有兩個(gè)方面：泄漏和放氣。放氣是指吸附在真空室、工具夾、基板或部件表面上的任何氣體的放出，通常放出的氣體以水蒸氣為主，但也可能是塑料或潤滑油中的易揮發(fā)性物質(zhì)。因?yàn)樾孤┖统鰵馔瑯佣紝Τ闅饣蛘哌_(dá)到最低壓強(qiáng)有影響，應(yīng)該以檢查來確定問題的性質(zhì)。要分別對空的真空室和裝有工夾具、產(chǎn)品的真空室進(jìn)行檢查。

　　擴(kuò)散泵在正確地工作時(shí)，一般幾乎不用看管，但是，要確保擴(kuò)散泵連續(xù)工作無故障，則要進(jìn)行定期檢查。

　　通過簡單的預(yù)防性的維護(hù)，可以避免由于停機(jī)時(shí)間和清洗過程。泵和系統(tǒng)的運(yùn)行日記可以表明泵的狀況，而明顯的變化將表示出需要采取的校正措施。

　　檢查的頻繁程度取決于真空系統(tǒng)的類型及其操作和使用情況，兩次檢查之問的最長時(shí)間間隔要根據(jù)經(jīng)驗(yàn)來確定。

　　擴(kuò)散泵需要定期大清洗，因?yàn)閿U(kuò)散泵工作液在使用中會逐漸老化，這就要把泵從系統(tǒng)中拆卸下來。